Адсорбционный насос

Адсорбционный насос, вакуумный насос, действие которого основано на физической адсорбции откачиваемого газа на поверхности адсорбента. Адсорбентом чаще всего служат цеолиты, реже - силикагели и активный уголь. Для усиления адсорбции адсорбент охлаждается жидким азотом. Со временем адсорбент насыщается газом и действие А. н. постепенно прекращается, но восстанавливается после нагрева до 100-150?С при откачке форвакуумным насосом. Получаемое абсолютное давление - до 10 мкн/м²(1´10^-7 мм рт. ст.).