Компаратор интерференционный

Компаратор интерференционный, прибор для метрологических измерений длин мер в длинах волн света или для сравнения длин мер на основе интерференции света. Длины концевых мер до 100 мм измеряются на интерферометре Кёстерса. Концевые меры большей длины, а также штриховые меры измеряются на универсальном К. и. Свет от источника 1 в виде параллельного пучка лучей зеркалом 2 направляется на полупрозрачную стеклянную разделяющую пластину 3. Часть света, отражённая пластиной, падает на концевой эталон 4, установленный на подвижной каретке. Передняя поверхность эталона А - свободная, а к задней В притирается плоская стеклянная пластина С. После отражения от плоскостей А и В свет проходит пластину 3 и зеркалом 5 направляется в зрительную трубу Т. Часть света от зеркала 2, прошедшая пластину 3, зеркалом 6 направляется на зеркало 7, жестко связанное с фотоэлектрическим микроскопом 8. Последний может перемещаться вдоль стола 9 с уложенной на нём штриховой мерой 10. Отражённый зеркалом 7 свет возвращается к зеркалу 6 и направляется на пластину. Свет, отражённый последней, зеркалом 5 также направляется в зрительную трубу Т. Положение стола фиксируется интерференционным индикатором 11, представляющим интерферометр Майкельсона, одно из зеркал которого жестко связано со столом.

При сравнении эталонной, концевой и измеряемой штриховой мер положением нулевого штриха штриховой меры фиксируется под микроскопом, а перемещением каретки с концевой мерой добиваются равенства длин путей обоих пучков лучей, образовавшихся при отражении света от поверхности А меры и зеркала 7. Затем перемещением зеркала 7 и микроскопа 8 добиваются равенства длин путей обоих пучков лучей, образовавшихся при отражении света от зеркала 7 и поверхности В меры. Необходимое для этого перемещение зеркала 7 и микроскопа 8, очевидно равно длине концевой меры. Новое положение зеркала относительно штриховой меры фиксируется микроскопом и интерференционным индикатором. Для сравнения длин концевых мер в параллельный пучок лучей, идущий от источника света, помещают трубчатый эталон (эталон Фабри - Перо), а зеркало 7 устанавливают так, чтобы его плоскость делила сравнимую меру на части, кратные длине эталона. Точность измерения длин мер на универсальном К. и. ?~1Ї10^-7

Лит.: Захарьевский А. Н., Интерферометры, М., 1952; Бржезинский М. Л., Интерференционные компараторы для измерения длины штриховых мер, в кн.: Труды институтов Госкомитета, в. 78 (138), М. - Л., 1965; Волкова Е. А. [и др.]. Универсальный интерферометр системы ВНИИМ для измерения концевых мер и геодезических кварцевых жезлов длиной до 1200 мм, в кн.: Труды Всесоюзного научно-исследовательского института метрологии, в. 26 (86), М. - Л., 1955.

? А. В. Кондрашков.