Ионный насос

Ионный насос, вакуумный насос, в котором откачиваемый газ подвергается интенсивной ионизации, а образующиеся положительно заряженные ионы удаляются под действием электрического поля. С помощью И. н. создают разрежение 10^-4 н/м² (10^-6 мм рт. ст.).